فایل ورد کامل مقاله پژوهشی درباره ویژگی‌های ساختاری، شیمیایی و ریخت‌شناسی فیلم‌های نانوبلوری نازک نیترید مس با افزودنی تیتانیوم

توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد

 فایل ورد کامل مقاله پژوهشی درباره ویژگی‌های ساختاری، شیمیایی و ریخت‌شناسی فیلم‌های نانوبلوری نازک نیترید مس با افزودنی تیتانیوم دارای ۶ صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است

فایل ورد فایل ورد کامل مقاله پژوهشی درباره ویژگی‌های ساختاری، شیمیایی و ریخت‌شناسی فیلم‌های نانوبلوری نازک نیترید مس با افزودنی تیتانیوم  کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه  و مراکز دولتی می باشد.

توجه : در صورت  مشاهده  بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی فایل ورد کامل مقاله پژوهشی درباره ویژگی‌های ساختاری، شیمیایی و ریخت‌شناسی فیلم‌های نانوبلوری نازک نیترید مس با افزودنی تیتانیوم،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد

بخشی از متن فایل ورد کامل مقاله پژوهشی درباره ویژگی‌های ساختاری، شیمیایی و ریخت‌شناسی فیلم‌های نانوبلوری نازک نیترید مس با افزودنی تیتانیوم :

مقدمه
معدنی توجه زیادی را به خود معطوف کرده اند Cu3N . [1- 5]
فیلمهای نیترید مس (Cu3N) بعنوان ماده جالبی در قطعات
مادهای است که ترکیب شیمیایی آن به شدت تابع روش و شرایط
مختلفی مانند پیوند تونلی اسپینی، حافظههای اپتیکی با ظرفیت
نهشت می باشد. از طرفی ترکیب شیمیایی آن به روش مشخصه-
بالا، نقاط کوانتومی مس و سلولهای خورشیدی ترکیبی آلی-
یابی شیمیایی حساس است. این مادهی شبهپایدار در دمای بالاتر از

۴۳

۲۵۰ C به Cu و N2 تجزیه میگردد. در سالهای اخیر، رشد فیلمهای ترکیبی سهتایی بر پایه Cu3N مانند (Pd, Cu)N، (Ti, Cu)N، (Ag, Cu)N گزارش شدهاند. .[۶- ۹]
در کار حاضر با استفاده از سیستم کندوپاش مگنترونی

DC از یک هدف آلیاژی دوتایی Ti13Cu87 در محیط نیتروژن فیلمهایی بر روی زیرلایههای تکبلور سیلیکوارتز،کن (۱۱۱)،
اسلاید شیشهای و استیل در دو فشار نیتروژنی ۰۴ و ۰۸ Pa تهیه شدند. ویژگیهایی ساختاری و شیمیایی مورد مطالعه قرار خواهد گرفت.

آزمایش و روشها

فیلمهای نازک نیترید مس با استفاده از کندوپاش مگنترونی واکنشی DC از یک هدف آلیاژی دوتایی Ti13Cu87 بر روی زیرلایههای تکبلور سیلیکون (۱۱۱) در اتمسفر خالص نیتروژن و دو فشار ۰۴ و ۰۸ Pa نهشته میشوند. اتاقک سیستم کندوپاش از طریق پمپ های چرخنده و تربومولکولی تا فشار – Pa4

۷ ۱۰ تخلیه میگردد. توان کندوپاشی، دمای زیرلایه و فاصله هدف- زیرلایه به ترتیب در ۸۰ W ، ۱۵۰ C و ۱۹۵ cm ثابت میشوند.

مشخصهیابی ساختاری فیلمها بوسیله پراشسنج پرتو X (Siemens D5000) با تابش CuK در مد روبشی ۲ انجام میشود. بر اساس فرمولبندی های نیمهتجربی پدیده کندوپاش،

نسبت اتمی تیتانیوم به مس در فیلم ها پیشبینی میشود. مقدار تراکم N در فیلمها با استفاده از مدلی بر اساس جذب شیمیایی محاسبه میشود.

شبکه Cu3N که با اتمهای Ti اشغال شدهاند افزایش در ثابت شبکه [۷] را بخوبی توجیه میکند. افزودن Ti در شبکه Cu3N

بعنوان یک بافر عمل میکندو منجر به افزایش نیتروژن افزوده در فیلمها میگردد که در توافق با این است که تمامی فیلمها دارای فوق تناسبعنصری N هستند.

شکل :۱ دیاگرام XRD لایههای Ti- Cu- N نهشتی بر روی زیرلایه Si (111) در

فشارهای نیتروژنی مختلف، [۷]

جدول -۱ مشخصات تخلیه مگنترونی ( پتانسیل هدف کاتدی Vd و جریان تخلیه It )، ثابت شبکه (a0) و نسبت اتمی Ti:Cu در فیلمهای Ti:Cu3N در فشارهای نیتروژنی

مختلف

It (mA) Vd (V) PN2 (Pa)
a0 ( A )

۳۸۳۰۳ ۲۰۰ ۴۰۸ ۰۴
۳۸۳۶۲ ۲۲۰ ۳۸۲ ۰۸

نتایج و بحث

شکل ۱ دیاگرامهای پراش پرتو X فیلمهای Cu3Nبا افزودنی (Ti :Cu3N ) Ti نهشته شده بر روی زیرلایه سیلیکون

(۱۱۱) در دو فشار نیتروزنی مختلف را نشان میدهد. در فیلمها فاز شبه- Cu3N و بازتاب از صفحههای (۱۰۰)، (۲۰۰) و (۲۱۱)

متناظر با آن رخ میدهد. همینطور فاز مس نانیتریده و قلههای بازتاب (۱۱۱) آن بطور ضعیف دیده میشوند.
افزودن تیتانیوم به Cu3N افزایش در ثابت شبکه آنرا به همراه دارد. ساختار Cu3N در مرکز سلول واحد دارای جایگاه خالی است [۱- ۴]، اتمهای Ti نمیتوانند در مرکز سلول Cu3N دارای تناسبعنصری قرار گیرند، [۶] تشکیل جایگاه های تهی از درCu

ترکیب شیمیایی

نسبت اتمی Ti:Cu بطور تقریبی بوسیله رابطه زیر داده میشود
(۱) As Y Ti Y Cu Y rN [1 (R Y N2 c Ti Ti : Cu
] ( Ti Ti Ti Ti . b
At YCuCu YCuTi N YCurN 1 cbTi
Y N2
Cu
جمله اول مربوط به کندوپاش از هدف و جمله دوم به بازکندوپاش از هدف در اثر ذرات نیتروژن بازتابی (rN) و اتمهای کندوپاشی رسیده به فیلم می باشد. cbTi غلظت Ti در سطح هدف است. Yji
محصول کندوپاش عنصر jام در اثر بمباران ذرات پرانرژی i ام و As

و At به ترتیب سطح زیرلایه و هدف می باشد. بمباران با N2+

معادل با بمباران با دو یون مجزای N+ با نصف انرژی در نظرگرفته می شود. محصول کندوپاش دارای وابستگی انرژی و زاویهای بصورت

۵۳

i

y cki xi

Y ( E , ) Y ( E ) .S ( ) (2)
میباشد که E انرژی ذرات فرودی است. زاویه پرش اتم های کندوپاشی نسبت به خط عمود بر سطح هدف است. وابستگی انرژی بوسیله اکشتاین و همکاران [۸] بصورت زیر ارائه داده می شود

۱) E )
(۳) E th Y ( E ) q snK rC ( )

۱) E
(
E th

که q، Eth ، و پارامترهای وابسته به ماده هدف و یون فرودی هستند که در جدول ۲ آورده شدهاند. Eth و ( snKrC( به
ترتیب انرژی آستانه برای کندوپاش و توان توقف هستهای می باشند.

توزیع زاویهای اتمهای کندوپاشی بوسیله یامامیورا [۹] به صورت

S ( ) C o s (1 C o s 2 ) (4)

پیشنهاد شد که پارامتر برازش است. پارامتر برازش به جرم و انرژی بستگی ماده هدف، جرم و انرژی یون بستگی دارد و به صورت